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半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的制備過(guò)程詳解

來(lái)源:杭州純水設(shè)備??????2020-10-12 11:08:25??????點(diǎn)擊:

杭州純水設(shè)備 http://uro-mug.com】半導(dǎo)體超純水設(shè)備主要用于高技術(shù)的工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程,尤其是半導(dǎo)體這種要求較高的技術(shù)尖端行業(yè),對(duì)水質(zhì)要求非常嚴(yán)格。

半導(dǎo)體用水中K+、Na+、Cu2+、Zn2+Fe2+、Cr6+、Mn2+等金屬離子含量都要在ppb級(jí)以下,總硅小于3ppbTOC小于50ppb,電阻率在18M?·cm以上,水質(zhì)中及其微量的雜質(zhì)原子都會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成極大的影響。

  半導(dǎo)體超純水設(shè)備之預(yù)處理系統(tǒng)

  一般水源水都難以滿足超純水的要求,在超純水的和制備過(guò)程中,預(yù)處理是非常必要的。絮凝沉淀、氧化、吸附是最常用的預(yù)處理工藝流程。原水中加入絮凝劑或采用電解絮凝方式,可以去除懸浮物、膠體和少部分有機(jī)物。氧化主要是去除易生物降解的有機(jī)物和氨氮。吸附同樣去除水中的懸浮物和膠體。

  半導(dǎo)體超純水設(shè)備之深度處理系統(tǒng)

  超純水的深度處理工藝需要采用最有效的水處理材料和最先進(jìn)的水處理單元裝置,最常用的就是反滲透設(shè)備,反滲透是現(xiàn)代超純水制備的核心。超純水處理工藝一般為:原水→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→精密過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→反滲透裝置→混床→超濾設(shè)備→超純水。終端的超濾設(shè)備可進(jìn)一步降低微粒和細(xì)菌的含量。

  半導(dǎo)體超純水設(shè)備的制備過(guò)程主要以預(yù)處理和深度處理兩大系統(tǒng)為主,完全按照超純水要求制備,嚴(yán)格控制出水水質(zhì)指標(biāo),保證工業(yè)生產(chǎn)和產(chǎn)品的品質(zhì)。純水設(shè)備杭州純水設(shè)備 ,杭州GMP純化水設(shè)備