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半導(dǎo)體超純水設(shè)備:DI水(超純水)的測試標(biāo)準(zhǔn)

來源:杭州純水設(shè)備??????2021-11-10 13:43:38??????點(diǎn)擊:

杭州純化水設(shè)備http://uro-mug.com】對于DI水的測試,需要精密的儀器和受控制的環(huán)境,如需要達(dá)到一定級別的無塵環(huán)境,專門的實(shí)驗(yàn)室等。不過大多數(shù)公司不可能投資巨額的資金去做該測試,將DI水送到有資格的外部實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行測試是一個可以考慮的做法。下面的內(nèi)容就DI水的常用測試項(xiàng)目和方法做簡單的介紹:

1、純水設(shè)備電阻率測試(Resistivity test )

該測試要求DI水需要處于溫度在25攝氏度狀況下,多數(shù)情況下工廠可以在線監(jiān)控該項(xiàng)測試,即可以在DI水的出水端安裝一個電阻測試儀器,可以隨時記錄數(shù)據(jù)的變化。除了在線監(jiān)控外,也可以送到實(shí)驗(yàn)中心進(jìn)行測試。測試結(jié)果的判定可以根據(jù)產(chǎn)品的要求而定。如在電腦的磁頭工廠,DI水是直接用來清洗產(chǎn)品的,所以要求非常高,一般要求在15---18MΩ?cm之間。測試方法是根據(jù)美國材料實(shí)驗(yàn)協(xié)會的標(biāo)準(zhǔn)(ASTM)。

2、蒸發(fā)后殘留物測試(Residue after evaporation test

該測試是監(jiān)控DI水殘留物含量的測試,結(jié)果評估是看每升水中有多少ug殘留物(ug/L),其依據(jù)是根據(jù)ASTM D5462 /F1094進(jìn)行控制。

3、細(xì)菌測試(Bacteria test

該測試監(jiān)控DI水中微生物的含量,表面上我們看到的是一杯非常透明的干凈的水,其實(shí)在水里面有很多微生物的存在,相對來說,DI水中的微生物會比我們飲用的自來水中少很多,因?yàn)?span>DI水的生產(chǎn)流程經(jīng)過了多次過濾、消毒、紫外線殺菌等等過程。做該測試會耗時較長,具體做法是使用培養(yǎng)皿對DI水進(jìn)行細(xì)菌培植,到一定的時數(shù)后再使用放大鏡看DI水中有多少細(xì)菌生長出來。因?yàn)榧?xì)菌需要養(yǎng)料才能生長,該測試就是根據(jù)該原理來測試細(xì)菌的數(shù)量。其判定結(jié)果是觀測在100ml水中有多少個細(xì)菌,需要觀測出不同大小的數(shù)量。

4、純水設(shè)備液態(tài)塵粒測試(LPC test

該測試是監(jiān)控DI水中一定粒徑下粒子的含量,一般控制每毫升中離子的個數(shù)(個/ml)。該測試是DI水非常重要的一個測試,也是監(jiān)控DI水的必測項(xiàng)目。在污染控制領(lǐng)域,一般對0.5um粒徑的粒子的個數(shù)進(jìn)行嚴(yán)格控制,如在電腦磁頭行業(yè)的公司,一般標(biāo)準(zhǔn)控制在1000/ml。不過到底定什么樣的標(biāo)準(zhǔn),可以根據(jù)產(chǎn)品特性來對DI水的LPC做出限制,一般實(shí)驗(yàn)可以測試小到0.1um 350um的粒徑。該測試方法是根據(jù)ASTM D4327/5542條款盡心操作。

5、硅油總量測試(Total Silica test

在多數(shù)的高科技產(chǎn)品生產(chǎn)中,對硅油是必須作出嚴(yán)格控制的,因?yàn)楣璨牧系姆肿犹匦钥梢詫Ξa(chǎn)品造成污染從而最終損壞該產(chǎn)品,所以該項(xiàng)測試是也是DI水非常重要的測試之一。測試結(jié)果一般是以每升水中含有多少微克的硅做為判定標(biāo)準(zhǔn)(ug/L)。該測試方法依據(jù)ASTM D5673D3919進(jìn)行測試。對于測試結(jié)果的理解,需要特別作出說明,如果測試結(jié)果顯示沒有硅油,這并不是表示DI水中不存在硅油,而是測試結(jié)果沒有超出測試標(biāo)準(zhǔn)中的敏感線(值)。

6、離子測試(Ionic content

該測試也是DI水非常重要的測試之一,主要監(jiān)控DI水中各種陰陽離子的含量,測試結(jié)果一般用總量不超過多少微克來判定(ug/ml)。比較常見的離子有:氯離子、鐵離子、鈉離子、硝酸根離子、硫酸根離子、鈣離子等。

 7、金屬離子測試(Metal content test

該測試主要監(jiān)控DI水中的金屬離子的含量,測試結(jié)果一般用般用總量不超過多少微克來判定(ug/ml)。比較常見的離子有:鉀離子、鐵離子、鈉離子、鎂粒子、鈣離子等等。監(jiān)控金屬離子是用來評估水的硬度是否合適。

8、溶解氧測試(Dissolved Oxygen

該測試主要是監(jiān)控DI水中活性氧的含量,因?yàn)樗泻趿窟^高,會加速其它物質(zhì)的氧化反應(yīng)從而影響到終端產(chǎn)品。其結(jié)果評估一般看每升水中含有多少微克的活性氧(ug/l)。可以參考ASTMD5391進(jìn)行控制和測試。

綜上所述,我們對DI水進(jìn)行各種不同類型的測試,其最終目的是為了終端產(chǎn)品的要求,根據(jù)不同產(chǎn)品類型可以有不同的測試項(xiàng)目和要求,以上幾個方面的測試是最常用的幾種測試方法。其它的如毒素測試(Endotoxin test),可溶解硅的測試(Dissolved silica test),總有機(jī)碳測試(TOC)等也時有用到。純水設(shè)備實(shí)驗(yàn)室純水設(shè)備,南通水處理設(shè)備南通去離子水設(shè)備。醫(yī)院用水處理設(shè)備,醫(yī)用GMP純化水設(shè)備。